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MÉTODO DE CORTE DE UN OBJETO PROCESADO


Resumen: Un método de corte de un objeto (1) a procesar, comprendiendo el método: una etapa de formación de la región de punto de partida de corte de irradiación de un objeto (1) con forma de oblea a procesar con luz láser (L) mientras se sitúa un punto de convergencia de luz (P) en su interior, a fin de formar una región modificada (7) debido a absorción multifotónica únicamente dentro del objeto (1), de manera que la luz láser apenas se absorba por una cara terminal del objeto (1) y la otra cara terminal en el lado opuesto del mismo para evitar que la una cara terminal del objeto y la otra cara terminal del objeto (1) se fundan tras la irradiación con luz láser (L) y provoquen que la región modificada (7) forme una región de punto de partida de corte, desviada desde una posición central del objeto (1) en una dirección de espesor de la misma hacia una cara terminal del objeto (1), a lo largo de una línea (5) a lo largo de la que el objeto (1) debería cortarse; y una etapa de presión en la que se presiona el objeto (1) desde el otro lado de la cara terminal del objeto (1)

Solicitante: HAMAMATSU PHOTONICS K.K.

Nacionalidad: Japón

Inventor/es: FUKUYO,FUMITSUGU. FUKUMITSU,KENSHI

Fecha de Publicación de la Concesión: 13/04/2011

Fecha Solicitud PCT: 11/03/2003

Clasificación Principal: C03B33/033, B23K26/38, C03B33/07, B23K26/40B, B23K26/40B6, C03B33/02L, B28D1/22B, B28D5/00B1

Clasificación PCT: B23K26/38, B28D5/00, H01L21/301

Clasificación antigua: B23K26/38, B28D5/00, H01L21/301

Países PCT: Austria, Bélgica, Suiza, Alemania, Dinamarca, España, Francia, Reino Unido, Grecia, Italia, Liechtensein, Luxemburgo, Países Bajos, Suecia, Mónaco, Portugal, Irlanda, Eslovenia, Finlandia, Rumania, Chipre, Lituania, Letonia, Ex República Yugoslava de Macedonia, Albania



MÉTODO DE CORTE DE UN OBJETO PROCESADO


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